制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
加热方式 | 数字式功率调整器 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
最大功率 | ≤1200W |
最大输出电压电流 | 电压&濒别;12V 电流&濒别;120A |
真空度 | 机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵&濒别;10^-3Pa |
挡板类型 | 电控 |
真空腔室 | 不锈钢腔体&辫丑颈;160mm x 160mm |
样品台 | 可旋转&辫丑颈;62 (最大可安装&辫丑颈;50基底) |
样品台转速 | 8转/分钟 |
样品蒸发源调节距离 | 70-140mm |
蒸发温度调节 | ≤1800℃ |
支持蒸发坩埚类型 | 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 |
预留真空接口 | KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口&苍产蝉辫;6mm卡套进气口 |
可选配扩展 | 机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa) 数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa) 分子泵机组(可抽真空20分钟&濒别;5x10-3Pa) |